พื้นหลังการใช้งาน:
เครื่องคัดแยกเวเฟอร์เป็นอุปกรณ์สำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ใช้สำหรับจำแนกและจัดกลุ่มเวเฟอร์โดยอัตโนมัติตามมาตรฐานคุณภาพที่กำหนดไว้ล่วงหน้า โดยประเมินเวเฟอร์ตามการตรวจสอบด้วยสายตา ผลการทดสอบทางไฟฟ้า และเกณฑ์อื่นๆ จากนั้นจึงแยกเวเฟอร์ที่ดีออกจากส่วนที่เหลือโดยอัตโนมัติ โดยทั่วไประบบจะรวมหน่วยตรวจสอบวิสัยทัศน์ขั้นสูงและการจัดการวัสดุอัตโนมัติ เพื่อให้มั่นใจถึงความแม่นยำในการตรวจสอบสูงและปริมาณงานสูงในเวลาเดียวกัน เครื่องคัดแยกเวเฟอร์มีการใช้งานอย่างแพร่หลายในสายการผลิต IC, อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ ช่วยเพิ่มระบบอัตโนมัติ ลดข้อผิดพลาดของมนุษย์ และรักษาคุณภาพและความน่าเชื่อถือของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายให้สม่ำเสมอ

ภาพรวมโซลูชัน:

• ตัวควบคุมหลัก: Siemens PLC

• ส่วนกระบวนการ: การจำแนกและคัดแยกเวเฟอร์

• การกำหนดค่า I/O ของโครงการ: 3RS-PN2 + 916DI + 916DO + 18AI

• การใช้งานต่อปี: ประมาณ 300,000 จุด I/O

รายละเอียดโครงการ:
โครงการนี้ใช้ Siemens S7-1200 PLC เป็นตัวควบคุมหลัก ร่วมกับโมดูล I/O หลายตัวเพื่อสร้างระบบควบคุมการคัดแยกเวเฟอร์ที่มีประสิทธิภาพและเชื่อถือได้ PLC รับสัญญาณจากเซ็นเซอร์ภาคสนามต่างๆ รวมถึงเซ็นเซอร์โฟโตอิเล็กทริก เซ็นเซอร์วัดการกระจัด เซ็นเซอร์อุณหภูมิ และผลการตัดสินใจจากระบบตรวจสอบวิสัยทัศน์ เพื่อตรวจสอบคุณภาพพื้นผิวเวเฟอร์และสภาพแวดล้อมแบบเรียลไทม์ จากข้อมูลนี้ PLC จะควบคุมอุปกรณ์สแกนด้วยเลเซอร์ หุ่นยนต์ขนถ่าย และแอคทูเอเตอร์การคัดแยกอย่างแม่นยำ ทำให้ได้การตรวจสอบความเร็วสูง การจัดกลุ่มอัตโนมัติ และการขนถ่ายที่แม่นยำ

ด้วยระบบตรวจสอบและควบคุมอัจฉริยะนี้ เครื่องคัดแยกเวเฟอร์ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการคัดแยกอย่างมาก ในขณะเดียวกันก็รับประกันความแม่นยำและความสามารถในการทำซ้ำของผลการตรวจสอบ ซึ่งให้การสนับสนุนที่แข็งแกร่งสำหรับการผลิตจำนวนมากอย่างต่อเนื่อง

ข้อดีของการใช้งาน:

• รองรับขนาดเวเฟอร์และรูปแบบถาดที่หลากหลาย โดยมีตัวเลือกแผงที่ยืดหยุ่น;

• การรวม I/O แบบโมดูลช่วยให้ขยายได้ง่ายตามความต้องการของสายการผลิตและสถานี;

• การตรวจสอบที่มีความแม่นยำสูงและการคัดแยกที่เสถียรช่วยลดการแทรกแซงด้วยตนเองและข้อบกพร่องที่พลาดไป;

• การจัดการ PLC แบบรวมศูนย์ช่วยให้สามารถควบคุมกระบวนการตามสูตรและการบันทึกข้อมูลประวัติสำหรับความสามารถในการตรวจสอบย้อนกลับคุณภาพทั้งหมด